【科技成果推介】高精度龙门双驱系统与专用伺服

项目信息：

申报院校：上海交通大学

项目名称：高精度龙门双驱系统与专用伺服

项目简介：龙门双驱系统具有高精度、高刚性、大行程、大推力等特点，是米级跨度/行程、亚微米级/纳米级精密定位的唯一解决方案，广泛应用于半导体设备、激光切割设备、大型工业母机、及光刻机上。高精度龙门双驱技术长期被国外垄断，国产专用何服驱动产品尚无应市。

对标PI、AeroTech、ACS等国际先进产品，本项目在高精度龙门双驱与专用何服系统等方面取得重大技术突破，在亚微米级精密定位系统创新结构设计、机电联合建模、解耦同步控制等领域获得创新成果，多项产品指标比肩行业先进水平，申报多项发明专利，并依托上海交大科创公司开展成果转化。

为了加速抗量子密码算法，课题组首次提出向量和矩阵化的高性能抗量子密码计算架构，基于提出的RISC-V密码学扩展，设计与通用处理器耦合的定制计算引擎，组成高性能异构计算系统。

为了满足高图像质量、高能量效率和低推理延迟的应用需求，课题组充分利用 RISC-V扩展指令的优势，提出基于RISC-V的高能效AI超分辨率系统，其算法具有场景适配性高、硬件友好性强的特点，其硬件架构具有低带宽、高算力、高能效的优势。

所属类别：先进制造与自动化

技术特点：

1、提出了非对称柔性铰链龙门横梁支撑设计，克服了大跨度龙门系统装调误差、同步误差导致的龙门横梁应力、系统参数失调，极大提升了机械系统的运动性能上限，柔性铰链浮动支撑技术极大降低了龙门启停和低速运行阶段导轨阻尼引入的系统非线性，实现了接近于气浮支撑的运动支撑导向效果，同时突破了气浮导轨垂向支撑刚性弱的缺点。

2、开发了龙门双驱专用伺服驱动，突破了高性能龙门双驱伺服解耦同步控制方法，解决了龙门双轴异步、横梁偏转导致的运动误差，揭示了大跨度龙门系统多源误差m合机理和补偿方法，提出了非对称主从式双轴非线性误差补偿方法，实现了米级跨度、米级行程、亚微米级定位精度，相关技术指标超越同类进口产品。

市场前景:

技术成熟度:可商品化技术

相关成果打破了行业巨头技术基断，解决了高精度龙门双驱专用何服领域受制于人的局面，提升了国产半导体设备、精密机床高精度定位系统的亚微米级定位技卡的自主性，降低了高端机床、半导体设备的产品成本,缩短了产品交付周期。

项目需求：合作开发

合作咨询请联系赵先生：18201800528