上海发布《半导体行业污染物排放标准》修订版

集微网消息，2024年2月29日，上海市生态环境局、海市市场监督管理局联合发布上海市地方污染物排放标准 《半导体行业污染物排放标准》，标准号为DB31/374-2024（被修订标准号为DB31/374-2006），实施日期为2024年5月1日。

据悉，本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

相比DB31/ 374—2006相比，本文件主要技术变化包括：

更改了水污染物排放标准的标准分级、删除了大气污染物的排放速率控制方式、更改了污染物控制项目、更改了部分污染物项目的排放限值、增加了边界污染物监控要求、更改了部分污染物项目的测定分析方法、增加了达标判定要求等。

上海市集成电路行业协会发文表示：《半导体行业污染物排放标准》首次发布是2006年，这次重新修订也体现了上海生态环保部门对集成电路行业的支持和重视，同时也体现了上海生态环保部门用科学、发展的眼光在管理行业的环境保护问题。

回顾2006年当时上海只有6家芯片制造厂，行业年销售额只有380亿，而2022年底上海制造企业就有17家，超过20条生产线；根据上海市集成电路行业协会的不完全统计，2022年上海集成电路产业实现销售收入首次突破3000亿元，达到3057亿元，占全国比重达到了22.3%。

集成电路产业已经成为上海市的支柱产业，也已经作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，关乎国家核心竞争力和国家安全，其在信息技术领域的核心地位十分重要。

但我们也应该看到目前国内集成电路芯片制造技术与国际先进水平仍有着很大的差距，正处于持续加速追赶阶段，核心技术仍被国外封锁，同时市场、产品变化较大；我们的生产工艺细节需要不断地探索、优化、改进与升级。我们的生产线通常生产和研发并行，同时随着制造工艺技术发展，线宽越来越小，工艺步骤越来越多，因此芯片制造过程对应能耗、排污也会增加。随着芯片制造产业做大做强，工艺技术节点发展进步，势必会增加生产环节的污染物排放量、碳排放量。所以在这关键点上来修订《半导体行业污染物排放标准》显得尤为重要。

（校对/韩秀荣）