中科飞测：股东计划减持合计不超3%公司股份

11月26日，中科飞测发布公告称，公司股东国投创业基金、深创投和人才基金计划减持公司股份。国投创业基金计划以集中竞价交易和大宗交易的方式减持不超过640万股，占公司总股本的比例不超过2%。深创投和人才基金计划以集中竞价交易的方式减持合计不超过320万股，占公司总股本的比例不超过1%。减持期间为自本公告披露之日起十五个交易日后的三个月内。减持价格将根据市场价格确定。本次减持计划不会对公司治理结构、持续性经营产生影响。

截止目前，国投创业基金持有公司股份数量为36,465,943 股，占本公司总股本的11.40%。深创投持有公司9,789,934 股，占公司总股本的3.06%；人才基金持有公司股份数量为 9,215,221 股，占公司总股本的 2.88%。深创投和人才基金关于公司构成一致行动关系，合计持有公司股份 19,005,155 股，占公司总股本的5.94%。

中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。

目前，中科飞测产品已经广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，在一定程度上突破了质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面，量/检测设备已应用于28nm以上制程的集成电路制造产线。

在检测设备产品的覆盖度上，中科飞测目前整体覆盖三大类，美国KLA在6类产品上有全方位的覆盖。其中，中科飞测当前实现了无图形缺陷检测和图形缺陷检测产品的成熟覆盖，纳米形晶圆缺陷检测设备在积极的研发进程中。此外，上海微电子持股的上海睿励主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等，进入到韩国三星芯片生产线；精测电子旗下上海精测的膜厚产品、电子束设备取得客户订单并完成交付。

量价方面，2022年，中科飞测无图形晶圆缺陷检测设备销售数量47台，该类别产品自2020年以来呈现逐步增长趋势，主要是因为SPRUCE-600型号无图形晶圆缺陷检测设备研发成功并经下游知名客户验证通过后，迅速获得市场认可，产品平均单价542.34万元，总体呈上升趋势；图形晶圆缺陷检测设备销售销售数量35台，平均单价370.60万元，量价呈现增长态势，主要系下游重点客户对公司设备需求增长和升级型号设备推出及销售占比提升。

相比海外龙头厂商，中科飞测的主要差距在于先进制程的产品线缺失和标准部件国产化率偏低。公司目前在28nm产线有多台设备通过验收，另有1Xnm的无图形晶圆缺陷检测设备在研。而行业领先企业KLA的Surfscan无图形晶圆缺陷检测系列覆盖了从5nm以下到40nm以上几乎所有工艺节点；此外，当前设备所需原材料中的EFEM和机械手主要来源于日本等境外采购，国产化率较低。