中芯集成“MEMS驱动器件及其形成方法”专利获授权

天眼查显示，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司近日取得一项名为“MEMS驱动器件及其形成方法”的专利，授权公告号为CN113233411B，授权公告日为2024年7月5日，申请日为2021年4月30日。

本发明提供了一种MEMS驱动器件及其形成方法。通过在第一衬底或第二衬底上设置固定件，以用于在刻蚀形成可动梳齿结构的过程中，固定微机械结构进而限制可动梳齿结构中的各个梳齿发生扭转，改善梳齿侧壁受到刻蚀损伤的问题。并且，在第一衬底上对应于微机械结构还设置有止挡件，该止挡件可用于限制微机械结构的最大扭转角度，以防止在外力冲击下微机械结构发生断裂的问题。