云汉星驰完成数千万天使轮融资，系全固态深紫外激光器厂商

据中关村协同基金消息，近日，北京云汉星驰激光技术有限公司宣布完成了数千万天使轮融资，由中关村资本领投，顺禧基金跟投。本轮融资将主要用于产能扩建、组织升级和新产品研发。

云汉星驰成立于2023年11月，是一家全固态深紫外激光器厂商，专注于芯片半导体领域的激光器研发，产品采用全固态技术路线，紧凑型结构的设计理念、简洁的外设接口、具备远程诊断功能。其创始团队合作共事多年，从2008年开始从事激光器开发，一直坚持全固态技术路线，开发过多款获得市场认可并有良好口碑的激光器产品。基于十多年的行业积累，核心团队在光、机、电、算、控等方面都有着较强的综合技术能力。

云汉星驰的产品包括全固态纳秒绿光激光器和全固态准连续紫外皮秒激光器两个系列的三款产品，主要服务于芯片半导体的晶圆退火和量测场景。目前已获得多家行业头部客户的批量订单，并已实现稳定交付。

顺禧基金董事长任鹏指出，云汉星驰是半导体设备核心器件领域的优秀创业公司，其开发的激光器产品是半导体前道制造设备中量测设备、退火设备工作的核心器件，是影响晶圆制造良率的直接核心耗材，有很大的发展潜力。（校对/陈炳欣）