传ASML CEO与台积电高管会面，欲了解路线图、光刻机订单

集微网消息，根据中国台湾产业消息，ASML即将退休的现任CEO Peter Wennink和他的继任者Christophe Fouquet本周前往中国台湾，与台积电董事长刘德音、副董事长兼总裁魏哲家举行会面，讨论两家公司的路线图，以及未来晶圆设备订单等话题。

知情人士透露，ASML高管于1月16日首次与台积电人士共进晚餐，双方于1月17日再次会面，两家公司均未透露具体谈话细节。消息称ASML高管每年都会到世界各地与客户会面，他们的亚洲之旅一直是最重要的，因为台积电、三星电子和一些中国大陆公司都是ASML的大客户。ASML高管此行的下一站预计为韩国及日本，但是否会前往中国大陆，目前没有确切消息。

ASML、台积电近期都经历了管理层变动，ASML CEO Peter Wennink即将于4月24日退休，Fouquet已被任命下一任CEO；台积电董事长刘德音也宣布将于6月退休，魏哲家预计为继任者。

消息人士称，ASML想要了解台积电的路线图，因为其在中国台湾、美国、日本、德国都有在建和待建晶圆厂，因此对DUV、EUV光刻机的需求仍十分强劲。除此之外，ASML还希望了解台积电对ASML最先进的High-NA EUV光刻机需求情况。这种设备单价可达4亿欧元，远高于单价1.5亿欧元的普通EUV光刻机，可用于制造3nm以下制程芯片。

知情人士补充，台积电正在仔细评估High-NA EUV的成本效益。

（校对/赵月）