兆易创新“一种NOR型阻变存储器及制备方法”专利获授权
天眼查显示,兆易创新科技集团股份有限公司近日取得一项名为“一种NOR型阻变存储器及制备方法”的专利,授权公告号为CN108878644B,授权公告日为2024年8月16日,申请日为2017年5月11日。
本发明实施例提供了一种NOR型阻变存储器及制备方法,包括:自下而上多个层叠设置的第一电极,第一电极之间设置有层间介质层,层间介质层延伸至第一电极的外侧,并包裹多个第一电极;贯穿多个层叠设置,以及层间介质层的至少一个第一通孔;第一通孔的孔壁上设置有阻变材料;设置在第一通孔内,且由阻变材料包裹的第二电极,第二电极与对应的字线电连接;本发明实施例提供了一种NOR型阻变存储器及制备方法,通过设置下电极包裹阻变材料,阻变材料与上电极包裹的结构,来实现数据的存储,可以制造出集成度更高的存储器,且制备工艺简单,成本降低。