北方华创“半导体工艺设备”专利获授权

集微网消息，天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺设备”的专利，授权公告号为CN112687585B，授权公告日为2024年4月16日，申请日为2020年12月18日。

本申请实施例提供了一种半导体工艺设备。该半导体工艺设备包括：工艺腔室、控制器及检测器；工艺腔室内设置有承载组件，承载组件包括承载座及驱动结构，承载座可旋转的设置于驱动结构上，用于承载待加工件，承载座的外周设置有检测部；驱动结构用于驱动承载座旋转；检测器设置于工艺腔室上，用于检测检测部；控制器用于基于检测器在单位时间内检测到检测部的次数，确定承载座的实际转速。本申请实施例对实现了对承载座的实际转速进行检测,从而大幅提高了确定承载座旋转速度的精准性，为调节承载座的旋转速度提供了准确依据。