北方华创“半导体腔室及半导体设备”专利获授权

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体腔室及半导体设备”的专利，授权公告号为CN220665444U，授权公告日为2024年3月26日，申请日为2023年7月27日。

本实用新型提供一种半导体腔室及半导体设备，半导体腔室包括：腔室本体；基座组件，基座组件具有用于放置圆晶的支撑面，基座组件可转动地设置在腔室本体内；磁流体组件，磁流体组件包括驱动件和固定件，固定件设置在腔室本体的外部，驱动件可转动地设置在固定件上，驱动件与固定件之间密封设置，驱动件自腔室本体外部穿设至腔室本体内部，驱动件与基座组件固定连接，驱动件用于带动基座组件转动；调平机构，调平机构设置在腔室本体的外壁上，固定件固定连接在调平机构上，调平机构用于改变磁流体组件的设置角度，以调节支撑面的角度。本实用新型的反应器极大简化了调平步骤，省时省力，大幅降低维护时间，提高生产效率。