北方华创“半导体设备及其磁控管组件”专利公布

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“半导体设备及其磁控管组件”专利公布，申请公布日为2024年5月7日，申请公布号为CN117995642A。

本申请公开一种半导体设备及其磁控管组件，属于半导体工艺技术领域。磁控管组件的转盘上开设有至少两个滑槽，每个滑槽的一端均位于第一尺寸的圆周上，另一端均位于第二尺寸的圆周上，每个滑槽的延伸方向均与转盘的径向呈预设角度的夹角，每个滑槽内还卡设有沿滑槽的延伸方向自由滑动的一个磁控管或一个磁控管配重；限位件与转轴转动连接，且限位件上开设有与至少两个滑槽一一对应的至少两个限位槽，每个限位槽均沿转盘的径向延伸，每个限位槽配合对应的滑槽卡设相应的磁控管或磁控管配重。本技术方案，其可实现磁控管在靶材边缘上方、靶材内侧上方两个位置的切换和旋转，具有结构简单、运动轨迹简单、易于控制、使用寿命长、可靠性较高等优点。