北方华创“半导体设备的加热器及半导体设备”专利获授权

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体设备的加热器及半导体设备”的专利，授权公告号为CN113604786B，授权公告日为2024年5月17日，申请日为2021年7月6日。

本申请公开一种半导体设备的加热器和一种半导体设备，上述加热器包括：加热盘，用于设置在所述半导体设备的腔体中，所述加热盘具有第一空腔以及相对的载物平面和底面，所述底面具有开口，所述第一空腔通过所述开口与大气环境连通；第一冷却元件，固定于所述第一空腔内，所述第一冷却元件用于向所述第一空腔内通入冷却气体。上述加热器在半导体设备的工艺过程中，加热盘温度稳定。