北方华创“射频装置及半导体设备”专利获授权

集微网消息,天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“射频装置及半导体设备”专利获授权,授权公告日为11月14日,授权公告号为CN112397362B。

图片来源:天眼查

专利摘要显示,本发明公开一种射频装置及半导体设备,射频装置应用于半导体设备,所述射频装置包括射频线圈和驱动件,所述射频线圈包括柔性连接件和多个子线圈段,所述柔性连接件为导电材质,相邻的所述子线圈段通过所述柔性连接件连接成所述射频线圈,所述射频线圈用于与射频电源电性连接;多个所述子线圈段中的至少一者与所述驱动件连接,所述驱动件用于驱动对应连接的所述子线圈段升降。

据悉,上述技术方案可以解决目前反应腔室内的等离子体分布不均匀,导致晶圆的刻蚀均匀性较差问题。(校对/刘沁宇)


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