北方华创“工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备”专利公布

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备”专利公布，申请公布日为2024年10月1日，申请公布号为CN118732614A。

本发明提供了工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备；其中，该方法包括：FA端设备获取工厂端主机发送的管理消息，并对管理消息进行解析，得到操作信息和标识信息；FA端设备通过Message Services将操作信息经上位机转发至下位机，以使下位机根据操作信息对Recipe进行操作处理；FA端设备获取第一操作结果信息，并将第一操作结果信息发送至工厂端主机，从而通过在FA端设备中新增E42标准的消息服务Message Services，实现了工厂端按照SEMI E42标准的方式来管理Recipe，提高了工厂自动化程度。