匠岭12英寸SuperHiK™高端量测机台出货龙头晶圆厂
近日,继为高端存储芯片产线提供多位一体的薄膜与光学关键尺寸(Film + OCD)量测解决方案后,匠岭科技厚积薄发,再次为12英寸先进逻辑芯片产线打造了SuperHiK™量测的完整解决方案,深度赋能客户在各关键薄膜量测环节的精准监控,保障高K材料超薄膜工艺的可持续量产,填补了本土化供应链在这个高壁垒环节的空白。
此次,匠岭高端量测机台 TFT70 首次内嵌 SuperHiK™ 的创新方案,顺利出货行业内领先的12英寸集成电路制造产线,进一步见证了匠岭产品生态的技术优势和高质量发展。匠岭科技坚持在光学量测领域攻坚布局,全面覆盖了前段工艺(FEOL)和后段工艺(BEOL)精准光学量测的多元化需求。
迄今,匠岭科技已在Logic/Foundry、IDM、Memory、Analog & Power等集成电路制造产线,协同部署了多种类量测机台与经验丰富的技术支持团队,量测超百万片晶圆,为客户提供了强有力的供应链支撑和极具优势的商业价值,未来将继续打造具有国际竞争力的光学量检测生态。