华虹宏力“半导体器件”专利获授权
集微网消息,天眼查显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司近日取得一项名为“半导体器件”的专利,授权公告号为CN113192948B,授权公告日为2024年4月5日,申请日为2021年4月27日。
本发明提供了一种半导体器件,包括基底,具有第一区域和第二区域,所述第一区域位于相邻的两个所述第二区域之间;两个子漏区,位于所述基底的第一区域内;dummy结构,位于相邻两个所述子漏区之间的所述基底上;源区,位于所述基底的第二区域内;栅极结构,位于所述第一区域和第二区域之间的所述基底上;本发明通过所述dummy结构来提高器件的ESD能力,且无需现有技术的SAB光罩也不需引入新的工艺流程,能够直接在制造工艺中同步形成所述dummy结构,以降低器件的制造成本。