台积电张晓强：将在合适的技术节点采用high-NA EUV

日前，台积电资深副总暨副共同营运长张晓强在接受媒体采访，谈及关于高数值孔径极紫外光（high-NA EUV）微影设备相关话题时表示，相信台积电研发团队会做出最好决定，在合适的技术节点采用。

张晓强称，相信台积电研发团队将继续专注于新的EUV应用，这明显包含高数值孔径极紫外光设备，台积电将选择合适的技术节点来使用，因为需要考虑很多因素，包括可扩展性，还有制造成本等。

此前，在台积电技术论坛上，张晓强曾提及，台积电2024年会拥有高数值孔径EUV工具但还不准备运用新工具来生产，主要使用目的是跟合作伙伴进行研发。