合肥欣奕华杨海军：持续创新 推动AMHS国产化持续发展

6月28日-29日，以“跨越边界 新质未来”为主题的2024第八届集微半导体大会在厦门国际会议中心酒店盛大举办。

首日，第二届集微半导体制造大会暨产业链突破奖颁奖典礼在线下成功举办。合肥欣奕华智能机器股份有限公司（简称：合肥欣奕华）半导体事业部总经理杨海军在会上发表了题为《持续创新，推进洁净领域物流系统国产化》的主题演讲，就AMHS发展状况、国产化替代、国产厂商面临的挑战，以及合肥欣奕华在AMHS领域所取得成果等进行深度分析、交流分享。

合肥欣奕华半导体事业部总经理杨海军

AMHS系统发展现状

在当今的半导体制造业中，AMHS系统作为连接生产线各环节的重要纽带，其效能和智能化水平直接影响着整个生产线的运行效率和产品质量。

据杨海军介绍，AMHS系统已经历了第一代分离式全自动化系统、第二代一体式全自动化系统及第三代智能化AMHS系统的发展，第三代AMHS系统具有智能、大规模随机性、实时性、动态负载平衡等特点，不仅在半导体制造行业中发挥作用，在硅片生产、先进封装、化合物半导体与新型显示行业中的渗透率也在上升。

从市场规模来看，2023年全球AMHS系统市场规模约300亿元，预计2024-2028年，全球AMHS系统市场将以6.0%左右的年均复合增长率增长。但由于受技术、产品价格等因素的影响，AMHS系统国产化率仅为5%左右。

杨海军指出，近些年来，国内量产半导体晶圆工厂所使用的AMHS系统由国外公司垄断，不仅产品及售后价格昂贵，而且AMHS软件系统抓取的数据涉及客户技术工艺秘密和数据安全，是国家芯片产业长期稳定发展的巨大隐忧。

另外，从AMHS国产厂商来看，目前仍面临着产品验证周期长、研发人才稀缺、供应链尚未完善、行业经验与整体规划能力有待提升等方面的影响。

致力推动AMHS国产化

目前来看，AMHS设备面临着随时被“卡脖子”的形势，AMHS设备的国产化大势已不可逆，近几年国产化环境也持续向好，一批优秀的本土厂商脱颖而出。

其中，国产替代代表厂商合肥欣奕华专注于AMHS设备研发，致力于实现供应链自主可控。该公司成立于2013年，可为半导体客户Fab提供半导体OHT、Stocker、NTB等AMHS整体解决方案的厂商，合肥欣奕华自主研发的OHT走行速度最高可达320m/min，振动≤0.5G，拥有自主开发的路径探索算法，支持控制系统不停机更新，搬送效率达国际先进水平，能有效助力半导体生产线缩短生产节拍、提高稼动率、提升直送比等。

杨海军称，目前，合肥欣奕华研发的半导体AMHS的设备运行速度、振动控制、搬送负载、定位精度等各项关键参数均已达到国际先进水平。公司已成为国内少数能提供软硬件成套化、产品客制化、供应链本土化的半导体AMHS整体解决方案供应商，在大规模动态调度、高速运行、振动控制等关键技术方面实现了全自主研发突破，具备AMHS多种布局设计能力，可根据客户需求灵活的布置轨道和存储方案，实现最优配置，为客户提供全方位的灵活定制化方案。

除半导体AMHS系统之外，合肥欣奕华在光伏、显示等高端装备领域均成绩斐然，公司不断增强对知识产权的大力投入，技术护城河持续升温，近年来自主研发的钙钛矿蒸镀设备、Mini/Micro LED巨量转移设备皆为国内首台套，可对标全球技术水平。

这些成就的取得，充分彰显合肥欣奕华的远见与格局。一是在十年前意识到全产业链布局的重要性，持续着力全产业链布局，不仅保证了AMHS设备的自主开发，且产品覆盖品类也更加宽广。二是雄厚的研发团队和持续的研发投入。目前公司拥有670多名员工，技术人员占比超过70%，海外专家30多人，其中本科及以上占比超过90%，在新材料、新设计的运用、先进Junction控制系统、最短路径算法+大数据分析+配车动态平衡、FDC助力智能维护等方面具有持续创新的能力。

杨海军表示，“公司拥有AMHS全知识产权与整体解决方案，成功为12英寸前道晶圆厂、12英寸硅片厂、8英寸显示芯片、8英寸前道晶圆厂 、8英寸Micro-LED晶圆厂等多家客户提供了AMHS整体解决方案，实现了国产替代。公司致力技术创新，在‘政、用、产、学、研’等方面与国内供应链厂商携手奋进，共同制定行业技术规范，推动AMHS国产化的持续发展。”