国内首套6-8寸Fully Auto AMHS系统发布

随着半导体产业的迅猛发展,Fully Auto AMHS系统凭借其卓越的高效与智能特性,正逐步成为国内外新建6-8寸FAB厂新的选择。回顾以往,AMHS供应商往往更侧重于在12寸领域的深入布局,对于6-8寸市场的潜力并未给予足够的重视。由此,基于6-8寸FAB厂新的需求,能够真正落地实施Fully Auto AMHS解决方案的产品变得尤为重要。

在这样的背景下,道达智能科技凭借在半导体智能制造领域的深厚积累与核心技术的原生研发和创新能力,系统性的发布了国内首套6-8寸Fully Auto AMHS,以满足市场更多元的需求。

道达智能科技此次发布的6-8寸Fully Auto AMHS系统,不仅延续了12寸系统在轨道、供电、OHT、STK、LP、OHTC、MCS等各个模块的高标准和严要求,更在此基础上,针对6-8寸FAB的实际需求进行了深度定制和优化。值得一提的是,针对6-8寸FAB设备密度高、节拍快、面积使用紧凑的特点,道达智能科技对AMHS系统的效率、速度和算法进行了全面升级。通过定制化的设计和大量的工程试验与仿真模拟,该系统成功克服了诸多技术难题,确保了在高密度、快节奏的生产环境中仍能保持稳定高效的运行状态。

此外,由于过往6-8寸存在大量手动搬送的设备,在对接OHT的标准和兼容上往往被忽略,此次道达智能科技发布的6-8寸Fully Auto AMHS系统还特别注重与各家LP和SMIF载具的整合设计与验证,成功实现了与各类设备的无缝对接和T-T(Tool-to-Tool)的Fully Auto传送,彻底解决了手动搬运效率低下、易出错的问题。

道达智能科技此次发布的6-8寸Fully Auto AMHS系统,已顺利通过相关技术验证和模拟仿真,满足单FAB 8万片+的产能要求。同时,该系统与业界主流POD和port厂商均完成相关验证测试,并基于交付场景实现了当前国产AMHS车体数量最多、轨道最长的仿真模拟。

此次系统的发布,意味着道达智能科技已具备6-8寸Fully Auto AMHS完整交付的能力,能够为客户提供更加多元和完善的智能制造软硬件解决方案,通过“硬科技+软实力”来实现中国工业领域的整体智能化能力提升,共同推动半导体产业的蓬勃发展。


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