国内首条？富加镓业 ：6英寸氧化镓单晶及外延片生长线已开工

9月12日，杭州富加镓业科技有限公司（简称：富加镓业 ）官宣6英寸氧化镓单晶及外延片生长线已于9月10日在杭州富阳开工建设。这是国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线。

杭州富加镓业科技有限公司成立于2019年12月31日，是杭州光学精密机械研究所注册成立的第一家“硬科技〞企业，该公司开展宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作，主要从事氧化镓单晶材料生长、氧化镓衬底及外延片研发、生产和销售工作，产品主要应用于功率器件、微波射频及光电探测等领域。

富加镓业消息指出，氧化镓单晶可以通过熔体法生长，从而在制备成本、单晶质量、缺陷或尺寸等方面相对于第三代半导体碳化硅、氮化镓材料及超宽禁带半导体氮化铝、金刚石材料有明显优势。另外，氧化镓材料的热处理温度及硬度均与单晶硅较为接近，从单晶硅器件线转为氧化镓器件线仅仅需要更换5%设备，相比而言，碳化硅材料硬度较大，且热处理温度较高，从单晶硅器件线转为碳化硅器件线，需要更换25%设备。考虑到现存单晶硅的器件线以6英寸及8英寸为主，氧化镓单晶材料及外延片需要跨过6英寸门槛后才能进入产业化快车道。现阶段，公司已经实现了6英寸导电型及绝缘型氧化镓单晶衬底的制备，单晶外延技术也取得重要进展，已达到6英寸硅基器件线产业化门槛。

此外，富加镓业指出，富加镓业是国内目前唯一一家同时具备6英寸单晶生长及外延的公司，开工建设的6英寸氧化镓单晶及外延片生长线也是国内第一条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，该生产线高度集成单晶生长、衬底加工、外延及检测，整条产线涉及关键设备包括“一键长晶”单晶生长设备、多线切割设备、高精度研磨抛光设备、倒角设备、激光加工设备、全自动化晶片清洗设备、高通量外延设备、表面缺陷检测仪、电学性能测试仪等重要设备。