奕斯伟“清洗设备”专利获授权

天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司近日取得一项名为“清洗设备”的专利，授权公告号为CN221246416U，授权公告日为2024年7月2日，申请日为2023年10月23日。

本实用新型提供了一种清洗设备，属于半导体制造技术领域。清洗设备，包括：设备本体内设置有清洗槽，清洗槽用于容纳对待清洗件进行清洗的清洗液；位于清洗槽上方的升降抖动机构，升降抖动机构朝向清洗槽的一侧设置有机械臂；位于机械臂的端部的挂杆和两个支撑杆，挂杆与两个支撑杆的延伸方向平行，挂杆和两个支撑杆上设置有多个凹槽，多个凹槽分为多组凹槽，每组凹槽包括位于挂杆上的一个凹槽和分别位于两个支撑杆上的两个凹槽，每组凹槽用于对一个待清洗件进行卡位固定，将待清洗件固定于挂杆与两个支撑杆之间，凹槽的延伸方向与挂杆的延伸方向垂直，挂杆与两个支撑杆之间的距离可调。本实用新型的技术方案能够对载具和修整器进行清洗。