奥飞声学“MEMS结构及应用其的压电麦克风、电子烟传感器”专利公布

天眼查显示，安徽奥飞声学科技有限公司“MEMS结构及应用其的压电麦克风、电子烟传感器”专利公布，申请公布日为2024年7月19日，申请公布号为CN118368571A。

本发明涉及新型电声元件制造和微电子器件等技术领域，尤其涉及一种MEMS结构及应用其的压电麦克风、电子烟传感器。本发明MEMS结构包括：衬底；压电复合层，形成于衬底上方，覆盖衬底背腔，包括：沿周向的N个弹簧单元；振膜结构和固定结构，分别位于所述N个弹簧单元的内侧和外侧，N≥3；下限位结构，其向上形成周向延伸的下环形凸起部，该下环形凸起部抵接于所述振膜结构的下方；上限位结构，其向下凸起形成周向延伸的上环形凸起部，该上环形凸起部抵接所述振膜结构的上方。本发明中，由于具有上、下环形凸起部的限位作用，保证了振膜结构具有足够大的弯曲变形，避免了振膜由于弹簧刚度过低导致的活塞运动，保证了输出信号的强度。