版主信息与通信 2023-11-21

尊芯智能——国内首家全自研AMHS适用于12寸晶圆厂MCS系统

作为汇聚全球最尖端科技的结晶，晶圆制造被誉为全球制造业的掌上明珠，其工艺之复杂、厂房环境要求之苛刻，不断推动着晶圆厂向着更高的自动化、智能化前进。面对复杂的芯片制造流程和苛刻的厂房环境要求时，晶圆厂迫切需求更高水平的自动化和智能化。因此，提升工厂空间利用率、减少机台闲置时间、提高生产效率和产品良率成为晶圆厂运营的首要问题。自动物料搬送系统（AMHS，Automatic Material Handling System）在这一背景之下成为晶圆厂制造生产中至关重要的“生命线”。

然而这一领域近90%的市场被国外企业垄断。面对日益倍增的需求，和空白的国内市场，国家政府层面对半导体领域做出了重要的远景目标与纲领规划， “十四五”是中国半导体行业夯实基础、谋取更大进步的关键五年，多个“十四五”相关政策均将集成电路列入重点发展项目。发展我们自主的AMHS系统迫在眉睫。

「尊芯智能科技」成立于2020年，是国内首家全自研半导体晶圆厂设备公司，专注于AMHS的生产、研发和销售。其自主研发全国产化生产的Phoenix-AMHS(Phoenix Automatic Material Handling System自动物料搬送系统)，Phoenix-AMHS在系统设计、迭代优化、现场施工等方面都在国内处于领先地位，能够最优地提高先进工艺晶圆厂大规模量产效率。

AMHS系统由硬件系统和软件系统构成。其硬件系统主要包括OHT、OHB、Stocker等，软件调度系统是MCS，一种物料搬送控制系统，可以控制对应的硬件设备，包括OCS(OHT CONTROL SYSTEMS)、SCS（STOCKER CONTROL SYSTEMS）、LCS(LIFTER CONTROL SYSTEMS)，可以说MCS是AMHS的核心系统。

MCS系统(Material Control System)，它是用于监控，控制和管理半导体生产搬运过程的关键系统之一。MCS系统监控半导体搬送及中转设备的状况，选择最佳的路径进行派送，进而减少搬运时间和提高搬运效率。目前，半导体制造包括晶圆加工，离子注入等复杂的工艺流程，这些工艺流程需要严格的监测和控制，而MCS系统可以最大限度提高自动化搬运设备和生产搬运效率，以便用来提高产品运输的及时性。

尊芯Phoenix 系列ZMCS系统更是在原有的MCS系统上具有以下优势：首先，尊芯MCS通过Dijkstra算法能够在半导体工厂复杂的布局下精准快速的锁定最短路径，并在此基础上会根据现场任务负载及设备的实时状况进行路径变更。在众多路径中寻找最佳路径，最快最稳定的完成搬送任务。它不但符合SEMI标准，促进半导体技术的快速发展，降低成本和风险，提高半导体制造的效率和质量。其次，还可以兼容多种中间件提供的通信支持，能够与不同设备或系统进行数据交换和控制指令传递，从而实现半导体制造过程的高效管理的控制，可扩展性也更强。不仅如此，我们还拥有active-active双活架构模式，它可以实现负载均衡和可用性，通过将负载分摊到多个节点上，当某个节点出现故障时，其它节点不受影响，继续工作，它提高系统的可用性和效率。最后，拥有强大的报表功能，通过丰富的报表，用图形的方式，让客户更为直观地了解数据关系和趋势。

尊芯ZMCS系统具备功能性能，生产效率，成本控制等多个方面的优势，并且满足半导体企业的需求，能适应市场的环境，在半导体企业市场上获得更为有利的竞争优势。