工信部就干法刻蚀设备测试方法等行业标准公开征集意见

集微网消息，工信部网站11月16日消息，工信部公开征集对《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、1项行业标准外文版和38项推荐性国家标准计划项目的意见。根据标准化工作的总体安排，工信部现将申请立项的《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版项目和《环境污染防治设备术语》等38项推荐性国家标准计划项目予以公示，截止日期为2023年12月16日。

其中，关于《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》，主要起草单位包括中国电子科技集团公司第四十八研究所，中国电子技术标准化研究院，湖南楚微半导体科技有限公司，中芯国际集成电路制造有限公司，北京北方华创微电子装备有限公司，中微半导体设备（上海）有限公司，合肥晶合集成电路股份有限公司等。

（校对/赵碧莹）