左蓝微电子“一种薄膜体声波谐振器及其制备方法”专利获授权

天眼查显示，左蓝微（江苏）电子技术有限公司近日取得一项名为“一种薄膜体声波谐振器及其制备方法”的专利，授权公告号为CN110311643B，授权公告日为2024年8月30日，申请日为2019年8月1日。

本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法。制备方法包括：提供第一基板和第二基板；在第一基板上形成第一凹槽；在第二基板上形成至少一组纵向布拉格反射栅，每组均包括至少两层具有不同声阻抗的薄膜材料层；将第二基板设置有纵向布拉格反射栅的一侧与第一基板设置有第一凹槽的一侧键合；在第二基板背离第一基板的一侧形成压电堆叠结构；在压电堆叠结构的边缘区域形成至少一组横向反射栅，以完成所述薄膜体声波谐振器的制备。本发明制备的薄膜体声波谐振器在横向与纵向上均设置反射栅，有利于将声波能量限制在器件有效区域，实现能陷作用，可以进一步提高器件的Q值，从而使谐振器具有较高的频率稳定度。