广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线

7月11日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式举行。

南海科技消息显示，会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，微纳院二期项目正式封顶，一批半导体项目现场签约。

活动现场，苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等12家企业、科研院所与广东微纳院签订中试合作协议。未来，广东微纳院“半导体材料外延与表征”、“半导体微纳加工”两大中试平台将分别为合作企业提供提供外延定制、表征测试及全流程中试流片、技术咨询等多种中试服务。

据介绍，平台建成后，将具备8英寸硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力。广东微纳院消息显示，半导体微纳加工中试平台建有8英寸硅晶圆及8英寸(向下兼容)氮化镓(GaN)晶圆加工线，拥有超百台芯片加工设备，涵盖光刻、镀膜、刻蚀、掺杂、量测等全流程工艺；半导体材料外延与表征中试平台专注于第三代半导体材料外延生长技术，拥有10余套材料外延生长的MOCVD设备和20余套满足各类材料/器件检测的测试设备，具备8英寸硅晶圆及硅基氮化镓晶圆切割加工、大功率LED陶瓷封装等能力。

依托半导体中试平台，广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区，建设6万平方米专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度进入试运行阶段，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。活动举行了简单而隆重的二期产业孵化区封顶仪式，6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议。

南海科技消息显示，当前广东微纳院已构建了‘一核五园多要素’平台格局，除了中试平台通线及二期项目封顶外，研究院将推进三期项目规划，持续配备更多半导体产业相关设备，引进培育一批半导体上下游产业企业，打造成半导体全链条产业服务平台。（校对/赵碧莹）