微导纳米超大宽幅卷对卷ALD装备重复订单量产交付

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司（简称：“微导纳米”，股票代码：688147.SH）超大宽幅卷对卷ALD装备顺利交付，经过严苛的装配检验和调试，达成既定工艺指标并通过量产验证。此次超大宽幅卷对卷ALD装备再获订单，体现了客户及市场对微导纳米技术创新和产品的高度认可，进一步巩固了微导纳米在柔性基底薄膜制备技术领域的先进地位。

微导纳米的卷对卷镀膜装备是在柔性/可延性基板上完成的纳米膜制备，可以用在锂电池隔膜、薄膜电池、柔性光伏组件、光学膜、生物医药等应用领域。

以柔性高阻隔封装薄膜为例。它在诸多前沿产业如柔性光伏封装、柔性OLED显示、照明封装及量子点增强膜封装等领域展现出了广泛的应用潜力，市场前景广阔。然而，随着这些应用领域的不断扩展和深化，对薄膜的阻隔性能和阻隔的稳定性提出了更为严苛的要求，要求水汽阻隔达到10-3g/m2.day~ 10-6g/m2.day级别的超高阻隔膜指标，而实现这一阻隔性能的工艺异常精密，工艺路线复杂且成本居高不下，量产性技术壁垒高。

微导纳米基于空间型ALD开发的大型卷对卷镀膜装备，解决了工艺稳定和优化维护保养问题。新一代宽幅≥1.5m、稳定超高阻隔性工艺设备的推出，标志着微导纳米在柔性电子尖端镀膜技术的再次突破，提升了我国柔性领域高端装备技术的国际竞争力，并达到国际领先水平。

超大宽幅卷对卷ALD真空镀膜装备特点

1多项技术合一

将超大面积的空间ALD、真空卷绕系统、收放卷纠偏真空自动化、超大面积柔性张力控制和微间隙检测等多种技术相结合，实现了真空环境中在柔性基底材料薄膜的连续沉积。

2有效降低成本

可显著减少柔性镀膜设备的占地面积、降低预算支出和试验成本，同时可保持真空状态完成多层膜沉积，有效提升镀膜效率和维护保养效率。

3低粉尘和薄膜无变形特性

在工艺过程中对收放卷张力控制、基材的振动振幅控制、特气系统的气氛隔离等有全新的优化设计，显著改善了粉尘的产生和薄膜高温后的变形。同时，还能够实现高镀膜速率和超大宽幅大尺寸薄膜的连续生产。

4提供多功能选项

提供成熟的高阻隔膜工艺，包括两种化学源配置、相邻镀膜腔工艺气氛隔绝和加热器等，使客户能够根据其具体需求进行定制配置，有利于尝试不同的薄膜组合和扩展其他工艺验证。

微导纳米全新开发的卷对卷设备平台，除了能够提供成熟的产业化应用高阻隔工艺解决方案外，还能为新的市场热点——柔性钙钛矿电池，提供新的工艺解决思路，借由成熟的卷对卷ALD平台，储备开发适合柔性钙钛矿工艺的电子传输层氧化锡和柔性封装的产业化装备，助力柔性钙钛矿路线产业化快速推进。