新施诺亮相2024集微半导体大会 第五代天车系统“吸睛”

2024年6月28日-29日，第八届集微半导体大会在厦门国际会议中心酒店召开。大会同期举办“集微半导体展”，全方位展示国内外半导体前沿产品技术与趋势，帮助产业各细分领域参展商与现场潜在客户实现深入交流及高效合作。

作为全球领先的AMHS（自动化物料搬运系统）供应商，苏州新施诺半导体设备有限公司（以下简称“新施诺”）携最新发布的第五代国产天车系统解决方案亮相本次展会，展示出公司在该AMHS领域的技术创新实力和竞争力。

半导体工厂内的天车系统在天花板上有序运行，是硅片和晶圆制造流程的重要组成部分，贯穿整个生产工序。随着芯片工艺节点的提升，AMHS系统成为晶圆厂建设规划的关键部分，需要新的天车系统相匹配。

自成立以来，新施诺立志打破垄断、抓住产业风口、凭借多年研发积累、坚持迭代创新，第五代天车系统在运行速度、稳定安全性与集成控制化等核心指标方面都得到了明显提升。

从运行速度上看，第五代天车系统做到了效率的极致提升——运行速度提升至5.33m/s，快速装载可达9.4秒（2.85米提升高度），大大减少了物流在生产环节中的时间。无论在运行速度，还是在抓取时间上都和前一代相比有了进步显著。

从安全与稳定性上看，第五代天车的设计优化使其转弯动作更加流畅，通过先进的低振动技术，大幅度降低了运行过程中的振动幅度，避免搬运振动引发晶圆破损，搬运重复精度控制误差在0.5mm以内，搬运过程载具振动峰值不超过0.5G，且关键取放过程中实施多重防护。多车防碰撞设计（ZCU）和CPS冗余功能也在五代天车中得到了进一步的强化和优化。CPS冗余功能能够在一台供电系统出现异常时，立即切换至备用系统，确保生产线的不间断运行，这对于实现高效的生产环节至关重要。

从集成控制化方面上看，这一代天车系统车体硬件通过集成化设计，将运动控制板与IPC紧密结合在同一硬件平台，实现了高效的数据处理和通信功能，显著提升了系统响应度。

新施诺于2022年10月，由沈阳新松机器人自动化股份有限公司和中芯国际下辖产业基金（中芯聚源）联合牵头成立。下辖全资子公司韩国SYNUS TECH（以下简称“Synus”）成立于1977年，是全球排名第四的AMHS（自动化物料搬运系统）系统供应商。新施诺集团拥有员工近600人，销售区域覆盖中国、韩国、美国、欧洲、东南亚等多个国家和地区。公司致力于成为全球第一的AMHS（自动化物料搬运系统）供应商，为多行业多地区客户提供自动化物料搬运系统的设计及系统解决方案。

新施诺方面表示，将继续保持技术创新的领先优势，进一步优化天车调度方案，加大研发投入，提升产品产业化及大规模应用能力，为客户提供更稳定、更便捷、更高效的产品及服务，助力中国半导体国产化事业持续发展。