新益昌“一种晶圆搜索方法、系统、设备及可读存储介质”专利获授权

天眼查显示，深圳新益昌科技股份有限公司近日取得一项名为“一种晶圆搜索方法、系统、设备及可读存储介质”的专利，授权公告号为CN115831814B，授权公告日为2024年7月5日，申请日为2022年11月22日。

本申请涉及半导体技术领域，提供一种晶圆搜索方法、系统、终端设备及可读存储介质，其方法包括：当确定晶圆吸取机构吸取所述第一晶圆区域的最后一个晶圆后，在所述最后一个晶圆周围生成第一预设数量的第一特征点位；根据所述第一特征点位中的目标特征点位的位置以及两个所述目标特征点之间的距离生成第二预设数量的第二特征点位，所述目标特征点位位于所述载体的边缘区域；根据第一搜索路径和第二搜索路径搜索所述第二晶圆区域，所述第一搜索路径是连接所述第一特征点位所得到的，所述第二搜索路径是连接所述第二特征点位所得到的。实施本申请，可自动搜索多区域分布的晶圆，提高工作效率。