智芯微“隧道磁阻加速度计”专利公布

天眼查显示，北京智芯微电子科技有限公司“隧道磁阻加速度计”专利公布，申请公布日为2024年8月6日，申请公布号为CN118443968A。

本发明涉及电子传感器领域，提供一种隧道磁阻加速度计，包括支撑结构、质量块、线圈、弹性梁以及四个隧道磁阻元件，质量块与弹性梁相连，质量块悬空设于支撑结构上，线圈设于质量块的表面，四个隧道磁阻元件设置于支撑结构的表面，且对称分布于质量块的四周，其中两个隧道磁阻元件所在的直线平行于X方向，另外两个隧道磁阻元件所在的直线平行于Y方向。质量块能够在X方向、Y方向或Z方向的加速度作用下运动以带动线圈运动。四个隧道磁阻元件中每两个隧道磁阻元件构成差分磁场检测结构，能够感应线圈运动状态变化下产生的磁场变化，通过测量磁场变化值实现单轴向、双轴向（X和Y）或三轴向（X、Y和Z）加速度的高精度检测。