武汉化合物半导体核心产业规模已超300亿元

集微网消息，4月9日，2024九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会在光谷开幕。

据介绍，目前，武汉已形成了光电半导体、电力电子半导体、射频半导体三大特色细分领域，以光谷为主要承载区的化合物半导体产业，核心产业规模已突破300亿，带动相关产业超过了1000亿，在全国化合物半导体领域竞争力、显示度不断增加。

作为湖北省十大实验室之一，以建设世界领先的化合物半导体研发和创新中心为愿景，成立3年来，九峰山实验室已在中国光谷建立起先进的化合物半导体科研及中试平台。

据九峰山实验室主任丁琪超介绍，九峰山实验室目前已搭建起完备的材料体系，以及包含7条工艺线的量产级研发流片平台，能力全面的先进检测分析平台。已具备以“异质集成”“先进键合”“化合物外延”“集成微波无源器件（IPD）PDK”“碳化硅（SiC）沟槽”“PZT压电MEMS”为代表的技术服务能力。

基于异质集成的未来技术规划方向，今年，实验室推出硅基II-V族化合物半导体材料异质集成技术、基于GaN的CMOS背面高效供电技术、晶圆级硅光微环纤维补偿技术、超高精度(<100nm )多材料晶圆键合工艺、晶圆级硅光MEMS技术等5个开放式基金课题，提供流片资源，检测资源。（校对/韩秀荣）