江苏省首台（套）重大装备名单公示，中安半导体、宏泰半导体等上榜

9月27日，江苏省工业和信息化厅对“2024年度江苏省首台（套）重大装备名单”进行公布，105个装备入选，名单自公布之日起三年内有效。

其中，上榜装备包括南京中安半导体设备有限责任公司“WGT300-M 大硅片晶圆平整度翘曲度检测设备”、南京宏泰半导体科技股份有限公司“MS8000型超大规模集成电路混合信号测试系统”、无锡卓海科技股份有限公司“ZH-PR12A 晶圆前道用高精密四探针电阻测试仪”、苏州智程半导体科技股份有限公司“ZCSS-01 Spin复合机”、芯三代半导体科技 (苏州) 股份有限公司“PE1T51-6011AB 六英寸垂直式碳化硅外延设备”。