煜辉半导体获近亿元A轮融资,用于下一代半导体设备研发制造

集微网消息,近日,常州煜辉半导体设备有限公司(简称:煜辉半导体)已顺利完成近亿元A轮融资。本轮融资由深创投及红土一号私募股权投资基金共同出资完成。

常州煜辉半导体设备有限公司是一家半导体企业,其子公司江苏维普光电是一家半导体光掩模检测设备企业。

常州国家高新区消息显示,该公司产品包括IC掩模检测、FPD掩模检测、晶圆检测、晶圆及掩模量测三大领域五类产品。其中,半导体掩模检测STORM 系列设备,已全面应用于国内Maskshop客户,对标业界头部企业,检测精度、效率上超越对应型号机型,共累计出货近40套。

维普光电成立于2016年9月,其解决方法可满足苛刻的半导体晶圆制造、半导体掩模版的AOI检测,应品应用于泛半导体、CMOS图像传感器、MEMS和RF领域。维普光电产品主要有半导体掩模版检测系列,包括Storm2000、Storm3000、IRIS530,以及晶圆检测系列,包括Tronado2000、Tronado3000。

常州国家高新区消息显示,量产机型STORM 3000满足130nm制程,交付华润微、中微掩模、龙图光罩、路维光电等客户。煜辉半导体本轮融资将用于下一代掩模检测机台STORM 5000、前道晶圆检测Tornado 3000的研发及生产制造,下一代机型将应用于半导体制造更高制程。(校对/韩秀荣)


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