煜辉半导体获近亿元A轮融资，用于下一代半导体设备研发制造

集微网消息，近日，常州煜辉半导体设备有限公司（简称：煜辉半导体）已顺利完成近亿元A轮融资。本轮融资由深创投及红土一号私募股权投资基金共同出资完成。

常州煜辉半导体设备有限公司是一家半导体企业，其子公司江苏维普光电是一家半导体光掩模检测设备企业。

常州国家高新区消息显示，该公司产品包括IC掩模检测、FPD掩模检测、晶圆检测、晶圆及掩模量测三大领域五类产品。其中，半导体掩模检测STORM 系列设备，已全面应用于国内Maskshop客户，对标业界头部企业，检测精度、效率上超越对应型号机型，共累计出货近40套。

维普光电成立于2016年9月，其解决方法可满足苛刻的半导体晶圆制造、半导体掩模版的AOI检测，应品应用于泛半导体、CMOS图像传感器、MEMS和RF领域。维普光电产品主要有半导体掩模版检测系列，包括Storm2000、Storm3000、IRIS530，以及晶圆检测系列，包括Tronado2000、Tronado3000。

常州国家高新区消息显示，量产机型STORM 3000满足130nm制程，交付华润微、中微掩模、龙图光罩、路维光电等客户。煜辉半导体本轮融资将用于下一代掩模检测机台STORM 5000、前道晶圆检测Tornado 3000的研发及生产制造，下一代机型将应用于半导体制造更高制程。（校对/韩秀荣）