盛剑半导体6亿元国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地开工

集微网消息 12月27日，由上海盛剑半导体科技有限公司建设运营的总投资6亿元的国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地在上海嘉定工业区开工。

该生产基地选址嘉定工业区（北区）JDSB0301、JDSB0302、JDSB0303单元64-03地块。项目占地面积约42亩，拟分两期投资建设，将打造成为集研发、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属装备平台。

上海嘉定消息称，项目建成后有望提升半导体制程附属装备的高端国产化配套能力，推动半导体装备国产替代率不断提高。（校对/韩秀荣）