盛剑半导体6亿元国产半导体制程附属设备项目开工

集微网消息，2023年12月27日，总投资6亿元、由上海盛剑半导体科技有限公司建设运营的国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地在嘉定工业区开工。

上海嘉定工业区消息显示，该项目占地面积约42亩，拟分两期投资建设，将打造成为集研发、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属装备平台。项目建成后，有望提升半导体制程附属装备的高端国产化配套能力，推动半导体装备国产替代率不断提高。

上海盛剑半导体科技有限公司是上海盛剑环境系统科技股份有限公司的子公司。盛剑环境是致力于为中国半导体产业提供工艺废气治理系统和装备综合解决方案的上交所A股主板上市企业。2021年12月，盛剑环境与上海嘉定工业区管理委员会签署投资协议书，在上海市嘉定工业区投资建设“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”。 （校对/韩秀荣）