版主信息与通信 2024-03-25

精彩回顾 | ASEL天芯微参展SEMICON CHINA 2024

3月20-22日，SEMICON CHINA 2024在上海新国际博览中心盛大开幕。在这一全球半导体行业的年度盛会上，ASEL天芯微作为先导集成电路产业园核心成员，展示了最新的产品技术，吸引诸多海内外产业伙伴的关注。

减压外延设备受关注，常压设备首次公开亮相

天芯微是国内少数真正通过完全自主设计、研发、制造硅基外延设备的企业之一，本次展会中，旗下减压外延设备Epi RP 300 Compass HP受到产业链上下游的关注。该设备针对28纳米及以下先进工艺制程的外延需求，应用于逻辑芯片、功率及存储器件的外延工艺，适用于硅、硅锗、硅磷等外延生长材料。目前已经获得多家12寸FAB厂的青睐，整体性能媲美国际主流产品，并在部分核心参数上领先。

天芯微Epi RP 300 Compass HP

作为天芯微Compass HP平台的第二款产品，硅基常压外延设备Epi ATM 300 Compass HP也迎来了展会首秀。该设备继承了Compass HP平台灵活调配生产配置的特性，凭借天芯微自研的压控FRC技术及独立多区进气模组，带来了更高效的沉积速率和更可观的膜厚及均一性。Epi ATM 300 Compass HP是适用于大硅片、功率器件和MEMS加工外延工艺的创新解决方案。