版主 维普半导体：半导体掩模缺陷检测设备持续升级 加速国产替代进程
【编者按】自2020年举办以来，IC风云榜已成为半导体行业的年度盛事。今年新增12项奖项，共设39项大奖，进一步关注半导体投资与退出、科技前沿领域贡献、项目创新以及技术“出海”与拓展。评委会由超过100家半导体投资联盟会员单位及500+行业CEO组成。获奖名单将于2025半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼上揭晓。
【候选企业】常州维普半导体设备有限公司（以下简称：维普半导体）
【候选奖项】年度最佳解决方案奖
今年，中国大陆扩产及AI的持续高增需求，带动全球半导体设备市场持续增长。据SEMI预计，2024年全球半导体设备市场规模将同比增长3.4%，达到1090亿美元，其中中国占比32%，其中，晶圆加工、晶圆厂设施和掩模/掩模版设备在内的晶圆厂设备领域销售额将达到980亿美元，预计2025年全球半导体设备市场规模仍持续提升。
然而，在半导体光掩模检测设备领域，由于Mask 缺陷检测设备用量小（相对于Wafer检测设备）、技术门槛高等原因，长期以来被美国KLA、应用材料、日本Lasertec等公司垄断。在国内光掩模检测设备领域，尤其是高端掩模图形检测设备，一直存在较大缺口。
值得庆幸的是，以维普半导体为代表的国产半导体设备厂商，通过8年的持续研发与市场布局，坚持十年磨一剑，逐渐打破国外企业的垄断，作为国内掩模检测设备领队企业，实现了进口厂商某一代设备的批量替代。
图1 维普半导体研发大楼
据悉，维普半导体是专业从事半导体光学缺陷检测设备的企业。其子公司江苏维普光电成立于2016年，是国内首家从事半导体光掩模检测设备企业，其产品包括IC掩模缺陷检测设备、大尺寸掩模缺陷检测设备、晶圆缺陷检测设备3大领域5大类产品。其中，半导体掩模检测STORM 系列产品，累计销售超40多套，目前产品可满足180/130nm制程要求，全面覆盖国内主流Mask shop客户及业界头部客户。
经过数年的不断升级改进，维普半导体从STORM 1000、STORM 2000逐渐升级为批量出货的STORM 3000产品，STORM 3000 是维普第三代IC Mask缺陷检测产品，已取得业界头部客户的评估认可。STORM 3000基于先进的激光成像技术与高灵敏度的软件算法，可具备DB、DD、SL等检测模式，适用于Mask Shop、FAB对光罩生产过程、出货及定期检测的需求。
图2 维普STORM 3000产品外观
目前，STORM 系列产品主要客户包括：中芯国际（上海）、迪思微、中微掩模、清溢光电、路维光电、龙图光罩, 睿晶半导体等国内客户；2024年进一步突破美日丰创、凸版（TOPPAN）等业界头部客户。STORM产品的稳定表现，获得端终客户青睐与连续复购，经过与友商设备大量的对比测试，STORM 3000产品具备替代K公司3代、4代产品的能力。
基于多个技术创新的设计思路，STORM 3000在光学成像及缺陷计算方面有较大优势，基于GPU的分布式架构下，维普STORM 3000具备更高的性能。在同等精度下，产能是友商的2~3倍。同等的设备占地，提供了更高的产能，进一步降低了客户的运营成本。
未来，随着人工智能、大数据等技术的融合与发展，半导体掩模检测设备向更高精度、更小的线宽、更高效率方向演进，维普半导体将加快新一代针针对90、65nm制程的检测设备研发。继续推动技术和产品升级，力争成为半导体检测设备领域一流企业，助力国产半导体行业进一步突破。
2025半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼将于2024年12月举办，奖项申报已启动，目前征集与候选企业/机构报道正在进行，欢迎报名参与，共赴行业盛宴！
【年度最佳解决方案奖】
‘年度最佳解决方案奖’是专为那些能够为行业提供高品质、创新性解决方案，且其产品已获得行业客户广泛认可和好评的企业而设立的。作为企业的‘明星方案产品’，通过‘IC风云榜-年度最佳解决方案奖’的评选加持，更将进一步提升了其在市场上的知名度，并在技术层面加强了市场对它们的青睐与认可。
【报名条件】
1、提供申报《方案》的市场情况及市场反馈，需要行业大客户采购或行业多客户采购清单，客户名称可以是代号形式；
2、企业的产品得到市场验证，至少有1款产品已经实现大规模应用。
【评选标准】
1、评委会由“半导体投资联盟”超100家会员单位及数百位半导体行业CEO共同组成；
2、每位评委限投5票，最终按企业得票数量评选出“年度最佳解决方案奖”。
