聚时科技“超分辨率图像转换模型训练、晶圆缺陷检测方法及装置”专利公布

集微网消息，天眼查显示，聚时科技（上海）有限公司“超分辨率图像转换模型训练、晶圆缺陷检测方法及装置”专利公布，申请公布日为2024年3月26日，申请公布号为CN117764829A。

本申请公开了一种超分辨率图像转换模型训练、晶圆缺陷检测方法及装置，应用于晶圆光学检测技术领域，包括获取目标晶圆的各个单晶粒图像；采用超分辨率图像转换模型对各个单晶粒图像进行特征提取后，基于各个单晶粒图像的单晶粒特征数据对各个单晶粒图像进行亚像素放大处理得到各个超分辨率单晶粒图像；基于基准单晶粒图像对各个超分辨率单晶粒图像进行缺陷检测得到晶圆缺陷检测结果。通过超分辨率图像转换模型对目标晶圆的各个单晶粒图像进行亚像素放大处理，可以在不降低检测产率、不增加硬件性能需求的情况下获得目标晶圆的各个超分辨率单晶粒图像，从而在基于各个超分辨率单晶粒图像进行缺陷检测时，可以提高目标晶圆的缺陷检测精度。