西永微电园CiMEMS微纳制造工艺线成功通线

集微网消息，11月5日，由北京理工大学与重庆西永微电子产业园共建的北京理工大学重庆微电子研究院（简称北理微电院，CiMEMS）传来喜讯，CiMEMS微纳制造工艺线在西部（重庆）科学城西永微电子产业园顺利通线，项目一期投资近1.5亿元。

通线仪式上，随着“重庆根、北理芯”的字样和一片MEMS晶圆浮现出启动台，标志着北理微电院具备了MEMS芯片从前瞻性科研、产业应用设计、生产与工艺迭代优化，到封装与测试的全链条创新策源能力，并能够为重庆打造“33618”现代制造业集群提供“国内领先、国际一流”的MEMS芯片产品与服务。

据北理微电院院长谢会开教授介绍，在集成电路行业不断发展的背景下，传统的集成电路无法持续地满足终端领域日益变化的需求，基于MEMS芯片技术的集成电路具有更强的性能，低功耗、速度快、可靠性高等优点，可以广泛应用在智能制造、自动驾驶、人工智能等多个领域。

北京理工大学重庆微电子研究院消息显示，北理微电院位于重庆西永微电子产业园，拥有建筑面积近10000㎡的科研大楼与超净面积约1200㎡的6英寸MEMS晶圆微纳制造工艺线。北理微电院自建院以来两年时间，已经建设完成一条先进微纳制造工艺线与基于微纳制造的六个科研方向：先进微纳芯片技术、智能微系统、微纳生物光子、硅基高速片上系统、太赫兹新型器件和微纳材料及新型半导体器件，形成了1+6的科研结构。

研究院成功递交国家自然科学基金项目指南1份，参与申报国家自然科学基金项目3项、科技部重大专项1项。此外联合社会资本成立了重庆微奥芯辰电子有限公司，基于研究院在MEMS芯片与结构光方面的科研成果，重点面向智能制造装备发力，为工业机器人、工业缺陷检测、无人物流设备装上超高精度的“眼睛”。（校对/赵碧莹）