版主 车仪田：把握核心自主技术，重磅推出NDIR气体浓度仪
【编者按】自2020年举办以来，IC风云榜已成为半导体行业的年度盛事。今年新增12项奖项，共设39项大奖，进一步关注半导体投资与退出、科技前沿领域贡献、项目创新以及技术“出海”与拓展。评委会由超过100家半导体投资联盟会员单位及500+行业CEO组成。获奖名单将于2025半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼上揭晓。
【候选企业】上海车仪田科技有限公司（以下简称：车仪田）
【候选产品】NDIR气体浓度仪
半导体设备是半导体产业的重要组成部分，它的发展水平和技术水平直接影响着半导体产业的发展和竞争力。根据市场研究机构数据，全球半导体设备市场规模预计到2025年将达到800亿美元。中国近年来加大对半导体产业的投资和支持，成为全球半导体设备市场的重要增长点。
车仪田成立于2022年6月，专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，公司团队成员拥有近二十年的半导体产品产业化经验，是国内半导体设备龙头公司的光电类供应商战略合作伙伴。
车仪田在等离子体光谱分析、高精度温度测量及控制、气体液体浓度分析等技术领域都有重大技术突破，提供在线式检测零部件和子系统，应用在半导体设备上参与核心工艺过程。应用领域几乎覆盖半导体芯片制造的全部工艺制程，包括刻蚀去胶工艺、薄膜沉积外延工艺、热处理工艺、清洗工艺等。
车仪田的产品OES终点检测系统、IEP刻蚀终点检测系统、NDIR气体浓度仪、RTC原位测量系统等均已应用到一线Fab晶圆厂，其中OES终点检测系统、IEP刻蚀终点检测系统已经实现Fab晶圆厂大规模应用。
在具体产品和解决方案方面，车仪田重磅推出了NDIR（Non-Dispersive Infrared，非分散红外）气体浓度仪，应用于工业级领域。
此次候选年度优秀创新产品奖的是NDIR气体浓度仪，一种非色散红外光谱吸收仪器，根据朗伯比尔吸收定律，通过检测清洗工艺过程中氟化物或者其他特定气体的浓度变化，来判断腔体是否清洗干净。在机台上安装使用，可有效防止清洗不干净和过度清洗。
该NDIR气体浓度仪产品拥有以下核心技术：
一、光源，用于产生探测光束；光源是宽波段远红外光源，波长范围为2μm至20μm。
二、气路管道，用于将装置与设备前端尾排管道连通；气路管道包含两个标准NW25法兰接口。
三、探测器，用于检测光源经待测气体吸收后所发出光线的探测图形；探测器主要包括滤波片和热敏芯片探测元；
四、自动终点检测功能。下位机程序具有两种自动终点抓取功能。
该产品创新点如下：
1.装置方向：多通道非分散性红外（NDIR）浓度仪，光程600mm（长程），光源处于远红外波段10-20μm。
2.装置特点：准直光路，消除杂散光，提高能量利用率。D工艺处理，用于辨别低浓度气体，增强小浓度气体的检测精准检测；F工艺处理，防止半导体中的腐蚀气体损坏气体通道，提升检测精准度。
据了解，车仪田NDIR气体浓度仪产品已应用于多家头部半导体设备企业的CVD镀钨腔体清洗检测、CVD镀硅腔体清洗检测等方面。
车仪田凭借其创新实力，荣获2024年上海市第一批高新技术企业、创新型中小企业及科技型中小企业的殊荣。展望未来，车仪田将继续加大在产品量产和新技术研发方面的投入，致力于在半导体设备零部件领域推动国产化进程，以实现更多产品的自主替代。
2025半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼将于2024年12月举办，奖项申报已启动，目前征集与候选企业/机构报道正在进行，欢迎报名参与，共赴行业盛宴！
【年度优秀创新产品奖】
旨在表彰补短板、填空白或实现国产替代，对于我国半导体产业链自立自强发展具有重要意义的企业。
【报名条件】
1、深耕半导体某一细分领域，近一年内实现新产品的研发及产业化；
2、产品的技术创新性强，具有自主知识产权，产生一定效益，促进完善供应链自立自强；
【评选标准】
技术或产品的主要性能和指标；（30%）
技术的创新性；（40%）
产品销量情况；（30%）
【年度最佳解决方案奖】
“年度最佳解决方案奖”是专为那些能够为行业提供高品质、创新性解决方案，且其产品已获得行业客户广泛认可和好评的企业而设立的。作为企业的“明星方案产品”，通过“IC风云榜-年度最佳解决方案奖”的评选加持，更将进一步提升了其在市场上的知名度，并在技术层面加强了市场对它们的青睐与认可。
【报名条件】
1、提供申报《方案》的市场情况及市场反馈，需要行业大客户采购或行业多客户采购清单，客户名称可以是代号形式；
2、企业的产品得到市场验证，至少有1款产品已经实现大规模应用；
【评选标准】
1、评委会由“半导体投资联盟”超100家会员单位及数百位半导体行业CEO共同组成；
2、每位评委限投5票，最终按企业得票数量评选出“年度最佳解决方案奖”；
（校对/张杰）
