隐冠半导体第200台极轴运动台顺利发运

2024年6月27日,隐冠半导体自主研发生产的第200台极轴运动台成功发运交付客户。

据悉,隐冠自主研发的极轴运动台采用高度模块化,超薄型等设计理念,实现X、Z和T轴3轴直线和旋转运动,其中垂向采用了磁浮重力补偿技术,可广泛应用于晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查、AOI光学检测等设备。该产品曾于6月12日至14日举办的第七届中国(上海)国际发明创新展览会上,斩获金奖。

(来源:上海隐冠半导体有限公司)


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