隐冠半导体第200台极轴运动台顺利发运

2024年6月27日，隐冠半导体自主研发生产的第200台极轴运动台成功发运交付客户。

据悉，隐冠自主研发的极轴运动台采用高度模块化，超薄型等设计理念，实现X、Z和T轴3轴直线和旋转运动，其中垂向采用了磁浮重力补偿技术，可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查、AOI光学检测等设备。该产品曾于6月12日至14日举办的第七届中国（上海）国际发明创新展览会上，斩获金奖。

（来源：上海隐冠半导体有限公司）