飞骧科技“横向激发体声波滤波器的制造方法及射频模组”专利获授权

天眼查显示，深圳飞骧科技股份有限公司近日取得一项名为“横向激发体声波滤波器的制造方法及射频模组”的专利，授权公告号为CN118399912B，授权公告日为2024年9月13日，申请日为2024年6月25日。

本发明适用于半导体工艺技术领域，尤其涉及一种横向激发体声波滤波器的制造方法及射频模组，所述制造方法利用硅基和光敏玻璃各自优异特性，在制造过程中通过对光敏玻璃曝光和退火，获得作为牺牲层的结晶化玻璃，完成图形化转移，这个过程不涉及空腔光刻、刻蚀和镀膜，减少了工艺步骤，能够降低难度和成本，提高滤波器的良率和结构稳定性；同时，结晶化玻璃与未结晶化的光敏玻璃具有高的刻蚀选择比和极低的寄生电阻电容，可简单精确地控制腔体刻蚀，获得理想的空腔结构，并能够降低器件插损，提高滤波器整体性能。