首台15天交付！格创东智Stocker助力头部12吋晶圆厂自动化物料存储

项目背景

国内头部半导体存储器制造商，专业从事集成电路内存芯片的设计、研发、生产和销售，目前12英寸晶圆厂已建成投产。其在国内外拥有多个研发中心和分支机构，已推出多款不同类型的内存芯片，满足多种应用需求。

项目挑战

随着市场行情的回暖和外部需求的增长，公司产能逐渐提升，现有Stocker晶圆存储立库（以下简称Stocker）的存储量无法满足需求，急需扩充FOUP的存储。同时由于客户工艺流程复杂、生产过程离散，会使得某些机台在某一段时间内，积累的晶圆比较多，如果是依赖人力搬运，难免出现调度、转运不及时的情况，从而造成瓶颈机台的拥塞以及部分机台运行不饱和。

实施方案

众所周知，从早期的6英寸晶圆厂，到如今的8英寸、12英寸厂成为主流，半导体制造工艺越来越先进，产线中的工序成倍增长，关键机台的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加，传统人力在产线设备间的物料搬运，成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。也因此，AMHS从8英寸厂开始显露头角，在12英寸厂中成为标配。

AMHS主要由OHT空中搬运小车、Stocker晶圆存储立库、MCS/OHTC/STKC软件系统等组成。其中Stocker作为AMHS的重要构成，用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆载具的存储，可与上位系统进行通讯，实现帐料自动管理。为客户生产现场减少物料搬运拥堵情况，降低传送周期，管理复杂的批次操作，实现物料高效搬运。同时确保机台排产充足，为工厂实现Fully Auto提供重要支持。根据无尘室可利用空间，格创东智灵活定制各类型Stocker，实现空间最大化。

Stocker设备打包完毕、发往客户工厂

项目成果

通过导入格创东智Stocker，自动化存储、提取和传送各种规格的晶圆料盒，该头部12吋晶圆厂实现了高效自动化物料存储扩产的需求。1、自动物料搬运存储

Stocker专为洁净车间设计，与OHT等自动化设备的协同作业构建起高效的自动物料搬运存储系统AMHS，根据生产计划和需求来优化物料流动。

2、降低人力&提高效率作为无尘车间内的临时存储库，Stocker可平衡设备及工艺间产能的差异，最大程度缩短晶圆在工艺设备间的流转时间，提高设备利用率；Stocker控制系统可自动向MCS系统更新对应物料的位置信息，实现物料的统一管理，提高工作效率的同时减少人员工作强度。

3、提高产品质量Stocker内部可达到较高的洁净度，能够满足物料存储对洁净度的要求，同时库存和物料流动的实时追踪有助于快速定位和解决潜在问题，进而提升产品质量、实现制造过程的可追溯性。

4、提高空间利用率Stocker能够充分利用洁净车间的闲置面积及垂直空间，在相同占地面积中提高仓储容量，从而提高空间利用率。

客户寄语

与常规交付相比，此次项目的工期非常紧，格创东智临危受命，紧急协调各种资源，组建专业项目团队，与客户紧密沟通，快速实现Stocker的调试/交付（第一台Stocker从客户PO下发到现场交付仅仅15天，这个效率在业界是绝无仅有的），非常及时、高效地支撑了客户产能的提升，并取得了客户的高度认可。