首战广州CICD展，凌恒温控产品备受关注

2024年5月23日 - 24日，一场聚焦半导体行业的年度盛会 — 第26届集成电路制造年会暨供应链创新发展大会（CICD），在广州知识城国际会展中心隆重举办。本次大会汇集了众多国内外行业精英领袖、专家学者以及产业链企业代表等共3000余人，以“助力产业路径创新，共建自主产业生态”为主题，就半导体产业发展趋势、创新路径等相关话题展开了广泛而深入的探讨。作为国内半导体行业精密温控设备研发和制造的领军企业，上海凌恒工业自动化有限公司（以下简称”凌恒工业“）凭借其在半导体制造温控领域的卓越表现和创新成果，大会上引起各方的广泛关注。

凌恒工业作为半导体产业的重要参与者，一直致力于提供半导体制造、芯片及其相关领域的高、低温精密控制解决方案，在电加热、低温冷却及超低温工况下的温控设备的研发、生产和安装方面有着丰富的经验，本次大会，公司高层携销售及市场团队向观众展示了最新研发的Chiller系列产品和杰出的Heating Jacket System产品。

Chiller 系列产品

节能高效 稳定可靠 快速响应

Chiller作为半导体行业温控系统的重要组成部分，其品质的高低直接影响半导体晶圆制造过程中温度的稳定性。凌恒工业自2013年创办以来不断创新，注重研发和质量把控，生产的Chiller系列产品具有设置方便、快速响应、高效节能而精确控温等特点，真正实现了低能耗、高稳定性的冷却效果，赋能半导体晶圆制造。

LRS系列

CRS& HPS系列

Heating Jacket System

全PTFE材质 高效升温

Heating Jacket产品采用优质的加热元件和高精度控温系统，能在短时间内实现快速升温，并具备高效的控温效果。通过不断优化加热过程，采用全PTFE材质，整体提高了系统的稳定性。

什么是 Heating Jacket System？

Heating Jacket System是用来维持各种科技生产中所使用的真空管路、气体管路中的温度，依照客户要求量身定做。

目前广泛应用于半导体真空或排气不锈钢管的温度维持，以避免因内部低温而造成未反应完全的介质生成副生成物，凝结于管壁内壁，造成阻塞或者其他问题导致排气效率降低。

系统由Heating Jacket、温度控制器、HMI控制箱等组成，用于即时监控管道状况和加热管道。

「典型应用」

气体输送管

三氯化硼(BCl3)、三氟化氯（ClF3）、正硅酸四乙酯TEOS、二氯硅烷DCS（SiH2Cl2）、六氟化钨WF6、工艺气体管线鉴定

CVD和金属蚀刻

低压化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积

等离子蚀刻

铝蚀刻、钨蚀刻

newUPW Heater

不断创新助力产业发展

本次大会，凌恒工业Chiller系列和Heating Jacket System产品吸引了众多行业专家和企业的关注，并在展位上与凌恒工业高层进行了深入交流和合作机会探讨。

此次参加CICD大会，对于凌恒工业来说不仅是一次展示自身技术实力的机会，更是与同行、客户交流学习、拓展业务合作的重要平台。随着半导体行业技术的不断发展，对温控技术的要求也将越来越高。凌恒工业将继续加大在温控技术领域的研发力度，不断创新技术，提升产品性能和质量，为半导体行业提供更加高效、稳定的温控设备和服务。