驭光科技“压印衬底及压印方法”专利获授权

天眼查显示,驭光科技(绍兴)有限公司近日取得一项名为“压印衬底及压印方法”的专利,授权公告号为CN114002915B,授权公告日为2024年8月16日,申请日为2021年11月18日。

本发明提供一种压印衬底,用于固定于压印设备的载物台上,压印衬底为用于制备衍射光学元件或微透镜阵列的压印衬底,压印衬底包括:功能部和稳定部,功能部用于涂覆光固化或热固化胶水,功能部具有厚度均匀的有效区和包围有效区的无效区,有效区用于作为纳米压印图形的承载区域。稳定部固定设置于功能部的无效区上,且稳定部的厚度大于功能部的厚度。本发明的实施例利用稳定部的重力抵抗胶水固化过程中的内缩应力,避免了衬底翘曲变形,提高了产品的合格率,进而为选择大尺寸超薄衬底提供了条件。同时,本发明还提供了一种压印方法,依靠前述的压印衬底进行纳米压印。


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