驭光科技“压印衬底及压印方法”专利获授权

天眼查显示，驭光科技（绍兴）有限公司近日取得一项名为“压印衬底及压印方法”的专利，授权公告号为CN114002915B，授权公告日为2024年8月16日，申请日为2021年11月18日。

本发明提供一种压印衬底，用于固定于压印设备的载物台上，压印衬底为用于制备衍射光学元件或微透镜阵列的压印衬底，压印衬底包括：功能部和稳定部，功能部用于涂覆光固化或热固化胶水，功能部具有厚度均匀的有效区和包围有效区的无效区，有效区用于作为纳米压印图形的承载区域。稳定部固定设置于功能部的无效区上，且稳定部的厚度大于功能部的厚度。本发明的实施例利用稳定部的重力抵抗胶水固化过程中的内缩应力，避免了衬底翘曲变形，提高了产品的合格率，进而为选择大尺寸超薄衬底提供了条件。同时，本发明还提供了一种压印方法，依靠前述的压印衬底进行纳米压印。