魅杰光电首台28nm套刻精度量测设备出货发运

集微网消息，据上海市集成电路行业协会消息，魅杰光电科技（上海）有限公司的首台28nm套刻精度量测设备成功在浦东张江出货，标志着魅杰光电成为国内为数不多的技术实力和技术储备达到国内关键工艺节点上的企业。

魅杰光电科技（上海）有限公司是一家以先进光学和计算机图形图像技术为基础，为半导体晶圆制造提供工艺控制与良率管理相关的量检测装备的公司，提供基于光学设计、图像处理、算法分析以及运动控制等技术在内的光、机、电、算、软一体化半导体量检测解决方案。其产品主要涵盖套刻精度量测、全自动有图晶圆缺陷检测、无图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测、全场式非接触曝光机等五大类别。

据悉，随着出货仪式结束，魅杰光电“28nm套刻精度量测设备正式装车出货。（校对/韩秀荣）