版主 ASML CEO采访实录：EUV是行业所需
西方政府批评中国制造业“产能过剩”，他们认为中国生产的产能超过了其消费能力，并将过剩产能倾销到国外市场。官员们将这一话术用于中国电动汽车、太阳能电池板，以及越来越多地用于从汽车到消费电子产品等各种领域的成熟芯片。
ASML CEO 傅恪礼（Christophe Fouquet）持不同观点。傅恪礼在7月时接受一家德国媒体的采访中表示，世界需要中国生产的“成熟芯片”，它们将有助于填补欧洲的供需缺口。
尽管采取了欧盟《芯片法案》等措施，但欧洲区域半导体增长仍处于历史最低水平，英特尔德国工厂等大型项目因财务问题而暂停。这表明，欧洲国家无法实现自主生产。
傅恪礼表示，欧洲无法满足对半导体的需求，本土生产仅能满足市场总需求的50%。“阻止别人生产你需要的东西是没有意义的。在俄罗斯的天然气方面，人们已经明白必须找到替代品，但对于芯片，目前还没有找到。” 傅恪礼说。
因此，尽管欧盟市场有望快速增长，但芯片供应方面仍存在一些担忧。在回答有关进一步出口限制的问题时，傅恪礼认为，如果全球大国要对中国实施进一步限制，他们必须在本国制定半导体生产计划，因为如果没有这个计划，供应链将很难满足行业需求。据外媒报道，今年，中国半导体市场开始取得重大突破，创新步伐正处于顶峰。
“如果你看看当今先进的芯片，我想中国可能落后美国十年。英特尔CEO帕特·基辛格在公开场合曾明确表达了这一点。这就是为什么中国在成熟制程的芯片技术上最为活跃。” 傅恪礼说道。
当被问及中国能否开发出EUV（极紫外）光刻设备时，傅恪礼认为，鉴于开发过程的复杂性，目前尚无法实现。
以下是傅恪礼的完整采访文稿翻译：
Q：傅恪礼先生，您（所在的企业）一直被禁止向中国销售带有EUV技术的系统。现在，由于无法获得出口许可证，您还不得不拒绝更多来自中国的订单。您觉得自己是中美芯片战争的受害者吗？
A：从积极的角度来看，这表明我们（ASML）的重要性。这也证明了整个行业的重要性。更重要的是，这显示出欧洲可以在一个重要行业中发挥主要作用。有时欧洲会感觉自己很小，或者至少与美国和中国相比，显得较小。但ASML及其供应商如蔡司（Zeiss）和Trumpf，在EUV上拥有对整个世界至关重要的知识。除了我们，没有人能做到这一点。
Q：EUV是一种使用极紫外光曝光半导体的系统。您为什么如此确定没有人能模仿它？毕竟，中国在芯片行业投入了数十亿美元。
A：EUV技术非常复杂。将这个系统集成起来极其困难。我们的知识体系非常庞大，整个生态系统都在这里。
Q：即使是中国也做不到吗？
A：这对中国来说将非常非常困难。因为相关的专业知识还在欧洲。
Q：您会担心更广泛的出口管制吗？
A：我们都在关注用于人工智能（AI）芯片、智能手机和服务器的最强大、先进的芯片。但最重要的是，汽车行业，包括德国汽车行业，，需要更多使用简单、久经考验技术的芯片。这些元件的需求正在急剧增加。然而，生产它们并不是特别有利可图。因此，西方国家在这方面的投资很少。欧洲甚至无法满足其自身需求的一半。所以我们需要从其他地方获得这些芯片——而目前用于生产这些芯片的工厂正在中国建设。
一些国家可能会说：“我们不喜欢中国在芯片上做的事情。”我们建议政府建立自己的工厂。因为不能让中国制造变得困难，而自己又不创造替代品。
以下这些是ASML的技术：
EUV
芯片的基本构件是晶体管。它们像微小的电子开关一样工作，控制电子的流动。晶体管因此显著影响电子设备的速度和能耗。现代芯片包含数十亿个晶体管。这些晶体管是通过曝光基础材料制造的。EUV的缩写代表“极紫外光”。
只有EUV技术才能生产具有小于7nm结构尺寸的最新一代芯片。这使得半导体更小，更便宜，能耗更低。为了理解这种微型制造的挑战，一个比较很有帮助：1nm大约是指甲每秒生长的长度。
过去，晶体管是使用像照相机上的光学镜头一样被烧录的。相反，EUV的工程师使用镜子。因为EUV辐射被空气吸收，曝光完全在真空中进行。激光脉冲每秒5万次击中一滴锡滴，将其加热到22万℃——粗略计算是太阳表面温度的36倍。通过射击产生13.5nm长的光波。这大约是目前常用激光的1/15的波长。
High-NA-EUV
High-NA是High-Numerical-Aperture的缩写，即更高的数值孔径。数值越大，可以获得更精细的分辨率——并且可以在芯片上放置更多的晶体管。目前使用的EUV系统具有0.33的数值孔径，High-NA达到0.55。
这很复杂，但遵循光学的经典原理：如果您想成像非常小的结构，光学系统必须变得更大。在High-NA-EUV中，光学的开口角——数值孔径比当前的EUV系统更大。英特尔已经购买了第一批High-NA设备，尽管系列生产尚未开始。
Hyper-NA-EUV
ASML计划在下一个十年初期或中期将Hyper-NA-EUV带到成熟产品系列。该过程将具有0.75的数值孔径，从而实现更精细的结构。
这些设备也将变得更昂贵。目前一台EUV机器的成本为1.5亿欧元。它像一辆公共汽车一样大小，由1万个单独的部件组成。High-NA-EUV设备更复杂，价格是其两倍多。
Q：中国在芯片方面进展如何？
A：如果您看看今天的先进芯片，中国很可能比美国落后了十年。英特尔CEO基辛格已经公开明确表示了这一点。因此，中国在大力发展成熟制程的芯片，而这正是西方迫切需要的芯片。
如果有人想以任何理由让其“踩刹车”，就需要替代品。阻止别人生产你需要的东西是没有意义的。人们已经明白了，对于俄罗斯天然气，必须开辟替代品，但对于芯片还没有。
Q：您的EUV机器每台超过1.5亿欧元，下一代High-NA-EUV甚至达到3亿欧元。很快就到了大型芯片制造商如台积电无法负担设备的地步，不是吗？
A：从价格上来说，我们的机器确实是越来越贵。但只要它们能为我们的客户带来回报，机器的价格就没那么重要。有很多报道说High-NA EUV不会被使用，因为成本太高。但这种说法并不准确。我们不会去建造一个成本高于其创造价值的设施。
Q：尽管如此，价格确实非常高昂。
A：我们当然在谈论巨额数字。任何开出一张4亿欧元支票的人都必须能够信赖我们的质量。我们的客户不怕花费更多，但花费必须值得他们付出。我们必须永远遵守这一规则。
Q：直到去年都还没有几个客户购买昂贵的EUV机器。这种情况正随着人工智能的繁荣而改变，对吗？
A：是的，因为AI需要高性能的芯片。当需要更先进的芯片时，也需要更先进的设备。现在，存储芯片制造商也在我们这里购买更先进的设备。但并非我们只是跟随市场。
Q：您是指？
A：在没有人知道人工智能会发展到何种程度时，我们就已经开发了EUV以及后续技术，即High-NA和Hyper-NA。我们这样做是因为我们认为：如果我们带着这项技术进入市场，总有人足够聪明地找到应用它的方法。
Q：您的意思是，您的机器使人工智能成为可能？从逻辑上讲：没有更强大芯片的设施意味着没有可以构建类似人工智能的东西的芯片，也就意味着没有人工智能。
A：是的，台积电最近非常准确地说过……
Q：该合同制造商是您的最大客户和芯片行业的技术领导者……
A：没错。他们说，人工智能之所以成为可能，是因为他们在工厂中的技术进步。五年前这是不可能的，因为当时没有这项技术。
Q：您能展望一下您的设备可以变得多么昂贵和复杂吗？
A：将EUV推向量产已经花费了二十多年和数十亿美元。好消息是：这项技术可以在未来20年内得到扩展。
Q：您指的是High-NA和Hyper-NA的后续技术。
A：Hyper-NA系统将与High-NA系统非常相似。90％甚至可能是95％的系统将完全相同。我们需要改变的是光学元件，即透镜。因此，设备不会戏剧性地变得更复杂。同时，我们将在未来十年内可能将系统的生产力翻倍，甚至可能在六七年内。当然，这也会导致价格上涨。
Q：在您前任Peter Wennink的任期内，ASML股价从50欧元上涨到900欧元，销售额和利润增长了一倍。这些数字步入了巨大的增长足迹。这让您感到害怕吗？
A：我可以向您保证：当我早上醒来时，我肯定不会首先想到股价。在Peter那里也不是这样。除此之外，我看到了很好的增长机会。半导体市场将在未来五年内翻一番......
Q：一些分析师甚至预计会有更强的增长……
A：对，可能会更多，这取决于人工智能的发展。只要我们在这个行业中保持相关性，我们就会随着它一起增长。
Q：您具体看到了哪些潜力？
A：我们每隔几年就会提供有关目标的信息。2022年，我们表示公司希望在2025年实现300亿~400亿欧元的销售额。对于2030年，我们预计在440亿~600亿欧元之间。范围比较大，因为在这么长的时间内充满了不确定性。但无论如何，它都将远远超过今天的数据。
Q：未来Hyper-NA技术在您的增长计划中扮演什么角色？
A：我们总是展望未来10年或15年，并问自己这个行业可能需要什么。我们对某些事情是确定的。例如，我们知道该行业需要EUV。否则就很难缩小晶体管的尺寸。
Q：Hyper-NA是下一步吗？
A：如果我们进一步展望未来，我们可以看到该行业需要更大的功率、更高的密度，即尽可能多的晶体管，但又不会增加太多成本。因为更多晶体管的价值必须始终超过额外成本。因此，我们相信，Hyper-NA需求只是时间问题。但我们谈论的是下一个十年。
Q：具体来说，第一个Hyper-NA系统什么时候可以启动并运行？
A：当我们的客户需要时，我们一定会准备好将Hyper-NA推向市场。那可能是2032年或2035年。我们将在未来三四年内讨论这个问题。问题更多的是何时发生，而不是是否会发生。（校对/孙乐）
